东方晶源是一家专注于集成电路良率管理的企业。公司核心业务涵盖电子束量测检测设备（如EBI、CD-SEM）、计算光刻软件（OPC）及良率管理软件（YieldBook）的研发与生产。
东方晶源是一家专注于集成电路良率管理的企业。公司核心业务涵盖电子束量测检测设备（如EBI、CD-SEM）、计算光刻软件（OPC）及良率管理软件（YieldBook）的研发与生产。
项目采用格瑞高温热泵转轮机组，对万级洁净室进行改造升级。该方案更适合电子洁净空间对深度除湿和低湿稳定控制的要求，在提升环境稳定性的同时，减少传统除湿方式带来的能耗压力。针对洁净室改造过程中实施难度高、运行连续性要求强的特点，格瑞方案兼顾除湿能力、系统稳定性与改造落地性，为电子洁净室升级提供了更有针对性的解决路径。
